Système pour la mesure optique très précise de déplacements et de profils. Étendue de mesure : 100 μm. Résolution : 15 nm
Spécialité d’équipement Optical measurement
Système pour la mesure optique très précise de déplacements et de profils. Étendue de mesure : 1 mm. Résolution : 0.1 μm
